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蚀刻再生器维修时所见蚀刻的常见故障时间:2019-01-17 | 来源:科峰自动化
科峰有过很多蚀刻再生器维修经验,今天来讲讲在蚀刻过程中常出现的问题。
1、蚀刻速率变慢 通常是由于温度低,喷淋压力低或蚀刻液的化学组份控制不当造成的。温度与喷淋压力正常的情况下,蚀刻速率缓慢的原因可能是比重与酸度及电位有问题,此时要对自动添加器加以校正。
2、溶液出现沉淀 酸低,要用SM之BT狂打酸,直到转为正常,哈哈,有点夸张,但事实如此。
3、光致抗蚀剂的破坏 当过量的酸存在时,就会发生这个现象。尤其是在温度较高的情况下更容易发生。可以用NaOH中和或者用水替换部分溶液调整过来。如果酸的浓度和光致抗蚀剂的条件是适宜的,那么,出现故障的原因可能是在板面清洗到抗蚀剂的涂复阶段或者是不适当的曝光或烘烤造成的。
4、在铜表面有黄色残渣 残渣一般是氢氧化亚铜,它不溶于水。当板面被蚀刻或碱性清洗时,就作为残渣留在板面上。另外,当蚀刻液中Cl-浓度和酸度太低时,蚀刻后板面会有白色沉淀出现,这可能是不溶性的氯化亚铜泥状沉淀。为了除去板面沉淀,可用5%的盐酸溶液清洗,然后再用水喷淋漂洗。
如果您这边有蚀刻再生器维修时,可以咨询我们,免费提供检测。科峰有20余年蚀刻再生器维修经验,是您安全的选择。上一篇:曝光机电源维修常见的故障下一篇:三菱伺服驱动器维修常见故障?相关资讯