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平行曝光机电源维修之平行曝光机用途时间:2019-02-26 | 来源:科峰自动化
平行曝光机电源维修之平行曝光机用途:平行光曝光机主要是用于光刻胶曝光。光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种光敏材料,它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。
光刻胶有正胶和负胶之分。正胶经过曝光后,受到光照的部分变得容易溶解,经过显影后被溶解,只留下未受光照的部分形成图形而负胶却恰恰相反,经过曝光后,受到光照的部分会变得不易溶解,经过显影后,留下光照部分形成图形。
负胶在光刻工艺上应用最早,其工艺成本低、产量高,但由于它吸收显影液后会膨胀,导致其分辨率(即光刻工艺中所能开诚最小图形)不如正胶,因此对于亚微米甚至更小尺寸的加工技术,主要使用正胶作为光刻胶。
还有很多其他的一些用途,也欢迎朋友们一起交流沟通,有平行曝光机电源维修方面的问题,也可以咨询我们,提供免费上门检测。
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